В рамках Международного научно-технологического центра "Технопарк инновационного машиностроения" на базе МГТУ им. Баумана (www.bmstu.ru ) с участием швейцарских фирм NANOSURF AG ( www.nanosurf.com ) и MACROMASH AG (www.macromashag.ch ) создается совместное предприятие "НАНОСЕРФМАШ", которое планирует развитие и адаптацию процессов промышленных микро- и наноизмерений в РФ и СНГ при производстве высокотехнологичной продукции, а также научные разработки, промышленную кооперацию, маркетинг, продажи и сопровождение продуктов и технологий (российско-швейцарский инновационный проект NANOSURFMASH).
Индустриальный атомно-силовой микроскоп (АСМ) NaniteAFM фирмы NANOSURF является универсальным, компактным и обеспечивает быструю настройку оборудования под конкретные задачи промышленных измерений в широком круге технологических приложений.
Перспективным является применение АСМ NaniteAFM для осуществления прецизионного промышленного контроля:
- рельефа поверхности, размера кристаллитов, диффузии с основным материалом, микротвердость, пористость, шероховатости, волнистости, направления обработки поверхности и покрытий изделий машиностроения, например, лопаток газотурбинных двигателей, высокоточного режущего инструмента и др.;
- геометрических параметров топологического рисунка, контроль формы элементов рельефа, распределения дефектов, распределения проводимости, емкости и намагниченности изделий наноэлектроники и микроэлектромеханических систем;
- чистоты поверхности, целостности проводящего рисунка, контроль параметров встроенных компонентов (резисторы, конденсаторы и др.) при производстве печатных плат, прежде всего СВЧ диапазона.
АСМ NANOSURF NaniteAFM обладает следующим комплексом технических возможностей:
- Держатель кантилеверов имеет специальную конструкцию, которая позволяет осуществлять быструю и однозначную установку зондов. Исключается длительная процедура юстировки зонда.
- Система позиционирования зонда выполнена на основе электромагнитных перемещателей. Обеспечивается высокая плоскостность и линейность измерений.
- Высокая воспроизводимость результатов измерений. Возможность применения данного оборудования в качестве метрологически обеспечиваемого средства измерения в микро- и нанометровом диапазонах.
- Реализация широкого спектра методик промышленного тестирования поверхности в одном измерительном модуле АСМ. Совмещение функций профилометрии, индентирования, контроля фазового состава, контроля отклонения от формы и расположения поверхностей в микронном и субмикронном диапазонах.
- Оснащение АСМ высокоразрешающей оптической системой и совмещение с системой автоматизированных координатно-связанных трансляторов. Позволяет решить проблему интеграции атомно-силового микроскопа в производственную цепочку для промышленного контроля параметров без дополнительных манипуляций над изделием, обеспечивая при этом автоматизированный подвод с субмикронной точностью сканирующей головки в рабочие области локальных измерений.
- Комплектация АСМ системами звукоизоляции, электромагнитного экранирования и активного демпфирования. Эксплуатация АСМ в условиях цеха, для которого характерно наличие вибраций, шума и электромагнитного фона.
Для исследовательских задач компания NANOSURF предлагает гибкую модульную систему FlexAFM, которая обладает тем же комплексом возможностей, что и NaniteAFM.
Дополнительными особенностями АСМ FlexAFM являются:
- Различные режимы эксплуатации. Включение в состав экспериментальной схемы, размещение на инвертированном оптическом микроскопе или обособленная эксплуатация. Визуализация и контроль параметров в жидкостях, а также электрохимических процессов травления и осаждения.
- Поддержка режима сканирующей тепловой микроскопии SThM. Позволяет визуализировать распределение температуры в узлах электрических схем, магнитных головок, лазерных диодах или волноводах. Обеспечивает локальное измерение теплопроводности и теплоемкости.
- Поддержка инновационной методики – нанофлюидики (FluidFM). В основе методики лежит применение специального зонда с наноразмерным каналом (диаметр 50-500 нм), через который с помощью сменной насадки, устанавливаемой на сканирующую головку, и соответствующего контроллера локально подается или отбирается вещество в рабочей зоне поверхности образца в контролируемых количествах.
Перспективным является использование системы FlexAFM при создании технологий новых материалов на основе гибридных наноструктур.
Для образовательных и несложных технических задач компанией NANOSURF был создан микроскоп NaioAFM. Система предназначена для подготовки специалистов в области нанотехнологий, а также для исследования небольших образцов. Вся система Naio AFM, включающая в себя контроллер, звукозащиту и виброзащиту, представляет собой единый блок с габаритными размерами 204х204х160 мм.
Индустриальный атомно-силовой микроскоп (АСМ) NaniteAFM фирмы NANOSURF является универсальным, компактным и обеспечивает быструю настройку оборудования под конкретные задачи промышленных измерений в широком круге технологических приложений.
Перспективным является применение АСМ NaniteAFM для осуществления прецизионного промышленного контроля:
- рельефа поверхности, размера кристаллитов, диффузии с основным материалом, микротвердость, пористость, шероховатости, волнистости, направления обработки поверхности и покрытий изделий машиностроения, например, лопаток газотурбинных двигателей, высокоточного режущего инструмента и др.;
- геометрических параметров топологического рисунка, контроль формы элементов рельефа, распределения дефектов, распределения проводимости, емкости и намагниченности изделий наноэлектроники и микроэлектромеханических систем;
- чистоты поверхности, целостности проводящего рисунка, контроль параметров встроенных компонентов (резисторы, конденсаторы и др.) при производстве печатных плат, прежде всего СВЧ диапазона.
АСМ NANOSURF NaniteAFM обладает следующим комплексом технических возможностей:
- Держатель кантилеверов имеет специальную конструкцию, которая позволяет осуществлять быструю и однозначную установку зондов. Исключается длительная процедура юстировки зонда.
- Система позиционирования зонда выполнена на основе электромагнитных перемещателей. Обеспечивается высокая плоскостность и линейность измерений.
- Высокая воспроизводимость результатов измерений. Возможность применения данного оборудования в качестве метрологически обеспечиваемого средства измерения в микро- и нанометровом диапазонах.
- Реализация широкого спектра методик промышленного тестирования поверхности в одном измерительном модуле АСМ. Совмещение функций профилометрии, индентирования, контроля фазового состава, контроля отклонения от формы и расположения поверхностей в микронном и субмикронном диапазонах.
- Оснащение АСМ высокоразрешающей оптической системой и совмещение с системой автоматизированных координатно-связанных трансляторов. Позволяет решить проблему интеграции атомно-силового микроскопа в производственную цепочку для промышленного контроля параметров без дополнительных манипуляций над изделием, обеспечивая при этом автоматизированный подвод с субмикронной точностью сканирующей головки в рабочие области локальных измерений.
- Комплектация АСМ системами звукоизоляции, электромагнитного экранирования и активного демпфирования. Эксплуатация АСМ в условиях цеха, для которого характерно наличие вибраций, шума и электромагнитного фона.
Для исследовательских задач компания NANOSURF предлагает гибкую модульную систему FlexAFM, которая обладает тем же комплексом возможностей, что и NaniteAFM.
Дополнительными особенностями АСМ FlexAFM являются:
- Различные режимы эксплуатации. Включение в состав экспериментальной схемы, размещение на инвертированном оптическом микроскопе или обособленная эксплуатация. Визуализация и контроль параметров в жидкостях, а также электрохимических процессов травления и осаждения.
- Поддержка режима сканирующей тепловой микроскопии SThM. Позволяет визуализировать распределение температуры в узлах электрических схем, магнитных головок, лазерных диодах или волноводах. Обеспечивает локальное измерение теплопроводности и теплоемкости.
- Поддержка инновационной методики – нанофлюидики (FluidFM). В основе методики лежит применение специального зонда с наноразмерным каналом (диаметр 50-500 нм), через который с помощью сменной насадки, устанавливаемой на сканирующую головку, и соответствующего контроллера локально подается или отбирается вещество в рабочей зоне поверхности образца в контролируемых количествах.
Перспективным является использование системы FlexAFM при создании технологий новых материалов на основе гибридных наноструктур.
Для образовательных и несложных технических задач компанией NANOSURF был создан микроскоп NaioAFM. Система предназначена для подготовки специалистов в области нанотехнологий, а также для исследования небольших образцов. Вся система Naio AFM, включающая в себя контроллер, звукозащиту и виброзащиту, представляет собой единый блок с габаритными размерами 204х204х160 мм.
Источник информации
Отрасли
Компании